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簡(jiǎn)要描述:脈沖激光沉積樣品臺(tái)是一種物理氣相沉積技術(shù),用于在襯底上生長(zhǎng)高質(zhì)量的薄膜。脈沖激光沉積系統(tǒng)中的樣品臺(tái)是一個(gè)關(guān)鍵組件,用于支撐和加熱待沉積的樣品。
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品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-50萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),交通,制藥,綜合 |
脈沖激光沉積樣品臺(tái)是一種物理氣相沉積技術(shù),用于在襯底上生長(zhǎng)高質(zhì)量的薄膜。脈沖激光沉積樣品臺(tái)是一個(gè)關(guān)鍵組件,用于支撐和加熱待沉積的樣品。
樣品臺(tái)的主要功能是提供一個(gè)均勻且穩(wěn)定的加熱環(huán)境,以促進(jìn)材料從靶材到襯底的轉(zhuǎn)移。在脈沖激光沉積過程中,高能量的激光脈沖轟擊靶材,使靶材表面的原子或分子蒸發(fā),并沉積在襯底上形成薄膜。為了有效地進(jìn)行這一過程,樣品臺(tái)需要能夠精確地控制溫度,以確保沉積的材料具有所需的晶體結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。
此外,樣品臺(tái)還需要具備足夠的穩(wěn)定性和耐久性,以承受脈沖激光沉積過程中產(chǎn)生的高溫、高壓和其他條件。因此,樣品臺(tái)通常由耐高溫、耐腐蝕的材料制成,如陶瓷或金屬。
總之,脈沖 激光沉積樣品臺(tái)是脈沖激光沉積系統(tǒng)中的重要組成部分,對(duì)于確保沉積過程的穩(wěn)定性和高效性至關(guān)重要。除了基本的加熱和穩(wěn)定性要求外,脈沖激光沉積 樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)還需要考慮以下幾個(gè)方面:
1. **溫度控制精度**:在薄膜生長(zhǎng)過程中,溫度是一個(gè)非常重要的參數(shù)。因此,樣品臺(tái)需要具備精確的溫度控制功能,以確保在沉積過程中溫度保持穩(wěn)定,從而獲得高質(zhì)量的薄膜。
2. **樣品臺(tái)的形狀和尺寸**:樣品臺(tái)的形狀和尺寸應(yīng)與靶材和襯底的尺寸相匹配,以便能夠均勻地加熱靶材,并確保激光脈沖能夠充分作用在靶材表面。
3. **熱傳遞效率**:為了快速達(dá)到所需的溫度,樣品臺(tái)需要具有良好的熱傳遞性能。這通常通過在樣品臺(tái)內(nèi)部加入熱電阻或熱電偶等溫度傳感器來實(shí)現(xiàn),以便能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和控制樣品的溫度。
4. **樣品的固定和更換**:樣品臺(tái)需要提供一種可靠的方式來固定靶材,并便于在沉積過程中更換靶材。這通常通過設(shè)計(jì)特定的夾具或支架來實(shí)現(xiàn),以確保靶材在沉積過程中保持固定且位置不變。
5. **光學(xué)窗口**:為了觀察和控制沉積過程,樣品臺(tái)通常配備有光學(xué)窗口。這個(gè)窗口需要具有高透光性,以便能夠清晰地觀察靶材表面的激光脈沖和沉積過程。
綜上所述,脈沖 激光沉積樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)需要綜合考慮多個(gè)方面,包括溫度控制、形狀尺寸、熱傳遞效率、樣品固定和更換以及光學(xué)窗口等。通過合理的設(shè)計(jì)和制造,可以獲得高性能的樣品臺(tái),從而支持脈沖激光沉積技術(shù)的高效和穩(wěn)定應(yīng)用。
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