追求合作共贏
Win win for you and me售前售中售后完整的服務(wù)體系
誠信經(jīng)營質(zhì)量保障價格合理服務(wù)完善當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品展示 > 沉積系統(tǒng) > 激光沉積系統(tǒng) > 脈沖激光沉積系統(tǒng)激光光路
簡要描述:脈沖激光沉積系統(tǒng)激光光路是一個高度復(fù)雜和精密的系統(tǒng),需要各個部分的緊密配合和精確控制,才能制備出高質(zhì)量的薄膜。同時,隨著科技的發(fā)展,脈沖激光沉積技術(shù)也在不斷地進步和優(yōu)化,為薄膜科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了強大的支持。
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 10萬-50萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,交通,綜合 |
脈沖激光沉積系統(tǒng)激光光路主要包括以下幾個部分:
1. 激光器:這是光路的核心部分,通常使用脈沖激光器,激光器的波長大多在200-400nm范圍內(nèi),這是因為大多數(shù)材料在此波長范圍內(nèi)處于強吸收狀態(tài)。
2. 光闌掃描器、聚光鏡和透光窗:這些設(shè)備用于調(diào)整和控制激光光束的路徑和特性。光束經(jīng)過激光器窗口、反射鏡、光圈和透鏡,最終轟擊靶材表面。
3. 光路調(diào)整:由于紫外光強度很大,對人眼具有嚴重的傷害作用,因此激光光路的調(diào)整通常借助小能量的He-Ne激光器來完成。首先將He-Ne激光器置于光路中KeF激光器光口前方,并調(diào)整與KeF激光器的光路相重合,再次調(diào)節(jié)真空腔窗口前的凸鏡,使光恰好射入靶材正中央。
4. 聚焦鏡:通過調(diào)整聚焦鏡的距離,可以改變光斑的尺寸,從而獲得合適的激光能量密度。
在整個光路中,需要嚴格控制各個部分的位置和參數(shù),以保證激光光束能夠以最佳的狀態(tài)轟擊靶材表面,從而制備出高質(zhì)量的薄膜。當(dāng)然,以下是對脈沖激光沉積系統(tǒng)激光光路的進一步詳細描述:
5. 靶材和基片:靶材是激光脈沖轟擊的對象,它的材料決定了要沉積在基片上的薄膜的成分?;瑒t是用來接收沉積的薄膜的基底,可以是各種材料,如玻璃、單晶硅、藍寶石等。靶材和基片通常都位于真空腔室內(nèi),以確保沉積過程不受外界環(huán)境的干擾。
6. 真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)主要由真空泵和真空計組成,用于維持真空腔室內(nèi)的高真空環(huán)境。高真空環(huán)境可以防止沉積過程中由于氣體分子的存在而產(chǎn)生的污染,從而提高薄膜的質(zhì)量。
7. 控制系統(tǒng):控制系統(tǒng)負責(zé)控制激光器的脈沖頻率、能量、光斑大小等參數(shù),以及靶材和基片的旋轉(zhuǎn)、加熱等動作。控制系統(tǒng)通過精確控制這些參數(shù)和動作,可以保證沉積過程的穩(wěn)定性和重復(fù)性。
8. 冷卻系統(tǒng):由于激光脈沖會產(chǎn)生大量的熱量,因此需要對靶材和基片進行冷卻,以防止熱損傷。冷卻系統(tǒng)通常由水冷或氣冷設(shè)備組成,可以有效地將熱量從靶材和基片中導(dǎo)出。
9. 沉積過程監(jiān)控和診斷:為了確保沉積過程的穩(wěn)定性和薄膜的質(zhì)量,還需要對沉積過程進行監(jiān)控和診斷。這可以通過各種在線監(jiān)測設(shè)備來實現(xiàn),如光譜儀、表面粗糙度計、橢偏儀等。
總的來說,脈沖 激光沉積系統(tǒng)激光光路是一個高度復(fù)雜和精密的系統(tǒng),需要各個部分的緊密配合和精確控制,才能制備出高質(zhì)量的薄膜。同時,隨著科技的發(fā)展,脈沖 激光沉積技術(shù)也在不斷地進步和優(yōu)化,為薄膜科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了強大的支持。
產(chǎn)品咨詢